1.每天开机前，给三坐标测量机做保养：
擦拭设备的布：无尘布、 无尘纸、医用脱脂棉（任意一种布）；
擦拭设备的液体：无水酒精（高度乙醇99.7%以上）、120#航空汽油(任意一种）
2.先擦拭各轴的导轨面（擦拭时朝一个方向擦拭，不能来回擦拭），后擦拭工作台面。
3.检查测量机的气压是否正常（大于0.5Mpa）。
4.检查各轴导轨是否有新产生的划痕。
5.检查机器运行是否正常。
6.检查空压机和除湿机是否排水（每天排一次水）
7.为了避免精密过滤器堵塞而影响测量机正常工作，每天检查各级过滤器的积水是否排放。
8.检查三联件过滤器的滤芯是否有污染。如果发现严重污染需清洗或更换滤芯，必要时需加装的空气过滤器和冷冻干燥机以改善气源质量。
注意：
1）擦拭各轴导轨时要特别注意，切勿污染光栅尺（注：光栅尺不能粘任何液体）。
2）设备的罩壳只能用水擦拭，不能用酒精或汽油擦拭。
3）防尘罩一个月清洗一次。